Případová studie: Průlom ve zpracování substrátu z křemenného skla
Předmět zpracování: substrát z křemenného skla pro fotolitografii
Specifikace:
Materiál: 99,99 % vysoce-křemenné sklo čistoty
Vlastnosti zpracování: oboustranné-zkosení C0,2 + svislá boční stěna
Požadavky na povrch: Ra < 150nm (zrcadlová kvalita)
Rozměry: 145×145×5,5mm±0,01mm
Analýza slabých bodů průmyslového zpracování
Jako základní spotřební materiál zařízení pro výrobu polovodičů musí křemenné díly pro fotolitografii splňovat současně tři přísné normy: propustnost materiálu > 99,6 %, rozměrová tolerance ±10 μm a drsnost bočních stěn Ra < 150 nm. Tradiční metoda zpracování využívá proces broušení brusným kotoučem, který má dva hlavní průmyslové problémy:
Úzké místo účinnosti: zpracování jednoho-kusu trvá až 120 minut
Povrchové vady: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Ztráta nástroje: životnost běžného nástroje je méně než 50 kusů
BISHENřešení technologické inovace
S ohledem na tvrdé a křehké vlastnosti křemenných materiálů, kompozitzpracovatelské řešeníje přijato:
• 20kHz ultrazvukový přesný gravírovací a frézovací systém
• Integrovaná PCD mikro{0}}nožová fréza (ostří R0,05 mm)
• Proces axiálního vrstveného řezání (2μm na vrstvu)
Porovnání naměřených výhod zpracování
Prostřednictvím ověřování a porovnávání procesů byly výrazně zlepšeny klíčové ukazatele:
Hodnota průmyslové aplikace
Toto řešení úspěšně vyřešilo problém zpracování „úzkého místa“ v procesu lokalizace součástí litografických strojů, zvýšilo kapacitu výroby křemenného substrátu z 10 kusů za den na 50 kusů a kvalifikaci zpracování z 63 % na 98,5 %. Podle detekce laserového interferometru Zeiss je přesnost povrchové úpravy PV hodnota<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
Bishen Precisionse specializuje na přesné zpracování hardwarových dílů se 7 500 m2 standardizovaných dílen a její služby pokrývají letectví, zdravotnickou techniku, průmyslové roboty a další obory. Díky schopnosti zpracovávat složité konstrukční díly a certifikaci systému ISO poskytuje zákazníkům kompletní-procesní řešení od návrhu a vývoje až po sériovou výrobu.
