Analýza objektu zpracování
Materiál: křemenné sklo optické kvality
Vlastnosti zpracování: více{0}}plošné broušení kontur (včetně 3 asymetrických faset)
Klíčové rozměry: 16×16×10 mm (chyba ±0,002 mm)
Tento křemenný hranol, který má pouze velikost nehtu, je základním světelným-prvkem optického systému domácího špičkového litografického stroje-. Jeho 8 složitě zakřivených povrchů potřebuje dosáhnout 99,6% propustnosti a přesnosti lomu na-úrovni nanometrů a drsnost povrchu přímo ovlivňuje expoziční rozlišení litografického stroje.
Problémové body a technické potíže v oboru
Společnost zabývající se optickými technologiemi se při propagaci lokalizace litografických strojů setkala s úzkým hrdlem ve zpracování křemenných hranolů:
Tradiční vady broušení: Drsnost po ručním leštění stále dosahuje Sa 120nm, což má za následek 15% ztrátu rozptylu světla
Závislost zařízení na dovozu: Cena jedné japonské ultra{0}}přesné brusky přesahuje 20 milionů juanů a dodací lhůta je až 18 měsíců
Výnosová krize: Pouze 32 z první série 500 zkušebních produkcí splnilo standardy, což vážně zpomalilo postup projektu
Dilema „nemůžu si dovolit dovážené vybavení a domácí procesy nejsou dobré“ přímo blokovalo proces vývoje nezávislého litografického stroje.
BISHENřešení řešení
V reakci na extrémní požadavky na přesnost optických komponent vyvinul technický tým BISHEN inovativní výzkum a vývoj:
1. Ultrazvukový vertikální pěti{2}}systém zpracování spojení
Dynamická kompenzace na úrovni 2. 0.1μm-, přesné ovládání 18osých spojovacích obráběcích strojů
3. Inteligentní programování CAD/CAM přizpůsobení asymetrického povrchu
4. Vysokofrekvenční-technologie broušení za pomoci ultrazvuku
5. 40kHz ultrazvukové vibrace snižují o 52 % řezné napětí a zabraňují křemenným mikrotrhlinám
6. Životnost diamantového mikro-práškového brusného kotouče se prodlouží třikrát
Skutečný naměřený výkonnostní skok
V hromadné výrobě určitého typu hranolu domácího litografického stroje bylo dosaženo tří zásadních průlomů:
1. Kvalita povrchu: Drsnost Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Efektivita zpracování: Pracovní doba jednoho-kusu je zkrácena ze 14 hodin na 3,5 hodiny
3. Kontrola nákladů: Investice do zařízení tvoří pouze 1/5 dovezeného řešení
Výtěžnost první série 3 000 produktů vyskočila na 98,7 %, což zákazníkům pomohlo dokončit montáž prototypů 6 měsíců před plánovaným termínem
oBISHEN
BISHENPrecision Technology (založena v roce 2017) se zaměřuje na prolomení „úzkého hrdla“ technologie v oblasti špičkové-výroby. Postavila digitální továrnu o rozloze 7 500 metrů čtverečních v Dongguanu vybavenou dovezenými zařízeními, jako jsou pěti{5}}osá spojová obráběcí centra a ultra-přesné optické brusky. Aplikací inovativních technologií, jako je ultrazvukové obrábění a kryogenní řezání, na polovodičová zařízení, optoelektronické nástroje a další obory, poskytla řešení pro zpracování klíčových dílů pro více než 20 tuzemských řetězců litografických strojů a dodala více než 500 000 přesných optických komponent.
