Ve světě výroby polovodičových zařízeníkvalita povrchu není jen o estetice-je o funkci, dlouhé životnosti a přesnosti. Komponenty, jako jsou sklíčidla na destičky, držáky čoček a přesná vodítka, musí splňovat nejen rozměrové tolerance, ale takéextrémní požadavky na povrchovou úpravu, často nížeRa 0,1 μm.
Proč je povrchová úprava na-nanometrické úrovni důležitá
Vysoce{0}}výkonné polovodičové vybavení do značné míry závisí na přesnosti kontaktů a kompatibilitě s čistými prostory. Drsnost povrchu přesahující prahové hodnoty nanometrů může:
Zasahovat spřesnost umístění plátků
Zvýšenítření a opotřebeníběhem pohybu
Příčinarozptyl optického signálu, ovlivňující fotolitografii
Vytvořitlapače částiczvyšující se riziko kontaminace
Například apodpěrný kroužek wafer stages drsností povrchu nad specifikací může způsobit mikro-vibrace, což snižuje přesnost polohování a snižuje výtěžnost.
Výzva v oblasti CNC obrábění
Dosažení povrchové úpravy Ra menší nebo rovné 0,1 μm daleko přesahuje standardní CNC procesy. Tradiční nástroje a parametry za sebou často zanechávají mikro-škrábance, stopy po obrábění nebo zbytkové napětí-to vše je v polovodičovém prostředí nepřijatelné.
Náš přístup ke kvalitě na-úrovni nanometrů
NaBISHEN Přesnost, vyvinuli jsme pracovní postupy obrábění speciálně pro povrchové-aplikace:
Použitíultra-jemnozrnné karbidové nástrojes vlastní geometrií
Leštící pasyintegrované do finálních drah nástroje
Řídicí systémy chladicí kapalinyabyste se vyhnuli tepelným-mikroslzkám-vyvolaným teplem
Koordinace sCMM a interferometry-bílého světlapro ověření drsnosti
Každý díl prochází vícestupňovou{0}}kontrolou nejen na rozměrové tolerance, ale i nasub-mikrometrová povrchová konzistencepřes všechny kontaktní roviny.
Skutečné pouzdro: zrcadlové-dokončené podpěrné desky pro destičky
Klient požadoval hliníkové plátkové desky s povrchovou úpravou lepší nežRa 0,05 μm, stejnoměrné po celém zařízení. Pomocí optimalizovaných-technik vysokorychlostního dokončování a vlastních strategií leštění jsme dodali komponenty, které překračují specifikace-připravené pro montáž na úrovni EUV-pro čisté prostory.
Nedovolte, aby povrchová úprava podkopala váš systém
Nedokonalost povrchu v nanoměřítku může tiše ohrozit vaše nejpřesnější mechanismy. Pokud to vaše aplikace vyžadujepovrchová úprava optické-třídynebovynikající třecí výkon, mluvte s námi. Pomůžeme zajistit, aby vaše díly splňovaly obojítoleranceatextura.
