V polovodičovém průmyslu,přesnost na{0}}mikronové úrovninení luxus-je to základ. Komponenty použité vsystémy pro manipulaci s destičkami, leptací komoryafotolitografické nástrojevyžadovatrozměrové tolerancečasto pod 5 mikronů. Tradiční metody CNC obrábění se bez specializovaného řízení procesu a metrologie potýkají s těmito požadavky.
Výzva: Když na mikronech záleží
Na rozdíl od konvenčních průmyslových dílů musí polovodičové součástky:
Udržovatextrémní plochost a rovnoběžnost
Mítpřesné vyrovnání a rozteč otvorů
Zajistitminimální povrchové vadykteré by mohly ovlivnit vakuum nebo optický výkon
I sebemenší odchylka může vést k:
Nesouosost při přenosu plátku
Ztráta přesnosti projekce fotomasky
Ztráta výnosu v důsledku znečištění nebo geometrického posunu
Skutečný-světový příklad: rámy litografických nástrojů
V jednom projektu zahrnujícím alehký rám z hliníkové slitinypro fotolitografický systém,tolerance pod 5 μmbylo nutné na montážních plochách zajistitdokonalé zarovnání překrytíčipových vzorů.
Abychom toho dosáhli, použili jsme:
5osé CNC obrábění s tepelnou kompenzací
Nízké-vibrace, vysoká-rychlost ovládání vřetena
Dimenzionální sondování a smyčky zpětné vazby-v reálném čase
Bez takové přesnosti by posun o pouhých 10 μm mohl narušit zarovnání masky a snížit výtěžnost čipu-, což by klienta stálo značné prostoje a ztráty materiálu.
Náš proces naBISHEN Přesnost
Poskytujeme OEM polovodičům s:
Ultra{0}}přesné CNC frézování a soustružení (opakovatelnost ±2~5μm)
Ra Povrchová úprava menší nebo rovna 0,2μmpro kritické těsnění nebo optické zóny
Obal kompatibilní s-čistými prostory
Inspekce CMM a laserového skenování s dohledatelnými zprávami
Náš tým rozumíkritičnost každého mikronu-a opírá se o to, že má zkušenosti s poskytováním služeb v oblasti výzkumu a vývoje i prostředí s velkým-mixem a nízkým{2}}objemem.
Proč na tom záleží
Ve výrobě polovodičů je geometrie vším. Jakékoli zkreslení, nesouosost nebo otřepy mohou mít za následek:
Zkreslení vzoru
Chyby při manipulaci s plátkem
Selhání vakuového systému
Přesné obrábění není jen o přísných tolerancích-je o zajištěnífunkčnost a spolehlivostzařízení na výrobu čipů nové{0}}generace.
