Jeden z našich zákazníků z oblasti polovodičů-OEM{1}}se sídlem v EU se specializací na EUV litografii-nás oslovil s výzvou: vyrobit vysokou-hustotumikrokanálová chladicí deskavyrobeno z hliníku 6061-T6. Požadovaná součást přes1 200 mikro-otvorů, každýØ 0,18 mm, s apoměr hloubky-k-průměru 10:1apřesnost polohy pod ±5 μmpo celém povrchu součásti.
Klíčové výzvy zahrnovaly:
Zlomení nástrojekvůli extrémním poměrům stran
Udržovánípřímost otvorupřes velké hloubky vrtání
Zajištěníevakuace čipůaniž by došlo k deformaci mikro-otvorů
Prevencetepelné zkreslenípři nepřetržitém vrtání
Abychom je vyřešili, použili jsme:
Specializované mikro-vrtačkys vnitřními kanály chladicí kapaliny
Více-krokůstrategie peck drillings kontrolou setrvání a zatažení
Ultrazvukové-proplachováníaby bylo zajištěno odstranění třísek
Probíhá-tepelná stabilizacemezi průchody k řízení expanze
Po několika iteracích a simulacích jsme implementovali a2-průchodový proces vrtání a vystružováníkteré dosáhly konzistentní geometrie otvoru a vnitřních povrchů-bez otřepů. Po-kontrole obrábění pomocí a500× digitální mikroskopaCMM se skenováním sondoupotvrzeno:
Všechny díry uvnitř±3 μmtoleranční pásmo
Drsnost povrchu nížeRa 0,2 μm
Odchylka rozteče-od{1}}díry uvnitř±4 μmpřes matrici 150 mm × 150 mm
Součást prošla testy těsnosti heliem, testováním účinnosti přenosu tepla a byla přijata do pilotního sestavení zákazníka bez přepracování.
